如圖一顯示進階製程控制(Advanced Process Control,
APC)及進階設備控制(Advanced Equipment Control; AEC: FDC & e-diagnostics
)技術之引用,可有效促使廠商提升OEE。而ISMT (International SEMATECH)的報告更直接歸納OEE提升的對策為導入EES
(Equipment Engineering System)。
依據SEMI 1st Symposium on Current SEMI Standards Information
& Control Activity-8 Oct.2002的會議結論訂定了以下標準架構供相關廠商開發相關軟硬體(如圖二所示)。其中相關介面及EES的基礎「Data
Collection and Storage & Global EE Database」是所有EES應用的基礎。